5-assige frezen keramyske isolatoaren foar healgeleiderapparatuer en skjinne keamers

Yn 'e wrâld fan healgeleiderproduksje en skjinne keamers mei hege ynset moat elke komponint perfekte prestaasjes leverje.PFT, wy binne spesjalisearre yn it meitsjen fan keunstwurken5-assige freesde keramyske isolatoarendy't presyzje en betrouberens opnij definiearje. Mei mear as 20+Mei jierrenlange ekspertize binne ús oplossingen ûntworpen om te foldwaan oan 'e strange easken fan healgeleiderapparatuer, wêrtroch termyske stabiliteit, elektryske isolaasje en fersmoargingsfrije operaasje yn ultra-gefoelige omjouwings wurde garandearre.

Wêrom kieze jo ús 5-assige freesde keramyske isolatoaren?

1.Avansearre produksjemooglikheden

Us foarsjenning is foarsjoen fanstate-of-the-art 5-assige CNC-freesmasines, wêrtroch't in krektens op mikronnivo mooglik is by it foarmjaan fan avansearre keramyk lykas aluminiumoxide (Al₂O₃), silisiumkarbide (SiC) en aluminiumnitride (AlN). Oars as konvinsjonele metoaden makket 5-assige ferwurking komplekse geometryen mooglik - kritysk foar komponinten lykas waferliftpinnen, ûnderdielen fan 'e ôfsettingskeamer en plasmabestindige isolatoaren.

Wichtige funksjes:

•Krektens:±0,005 mm tolerânsje foar naadleaze yntegraasje yn ASML-litografy-ark of Lam Research-etssystemen.
•Materiaal ferskaat:Optimalisearre foar 99,8% aluminiumoxide, SiC mei hege suverens, en oare avansearre keramyk.
•Oerflakôfwerking:Ra <0.2μm om dieltsjesgeneraasje yn ISO Klasse 1 skjinne keamers te minimalisearjen.

2.Proprietêre prosestechnyk

Us yngenieurs hawwe ûntwikkelesletten-loop proseskontrôlesdy't har oanpasse oan 'e brosheid fan keramyk tidens it ferwurkjen. Troch it kombinearjen fan droege freestechniken mei real-time trillingsdemping, berikke wy barstfrije oerflakken en in ferlingde libbensdoer fan komponinten - sels ûnder ekstreme termyske syklusen (oant 1.600 °C).

Ynnovaasje yn 'e skynwerpers:

•Protokollen foar stressferliening:Minimalisearje mikrofraktueren yn AlN-isolatoaren foar CVD-tapassingen.
•Behannelingen nei it ferwurkjen:HIP (Hot Isostatic Pressing) ferbetteret tichtens en korrosjebestriding.

3.Strikte kwaliteitsfersekering

Elke isolator ûndergiet12-faze ynspeksje, ynklusyf:

•CMM (Koördinaatmjitmasine)falidaasje fan krityske diminsjes.
•Helium lek testenfoar fakuümkompatibiliteit.
•EDS (Enerzjy-Dispersive Röntgenspektroskopie)om de suverens fan it materiaal te ferifiearjen.

ÚsISO 9001/14001-sertifisearre systeemsoarget foar traceerberens fan oanskaf fan grûnstoffen (oanskaft fan Tier 1-leveransiers lykas CoorsTek) oant definitive ferpakking.

Tapassingen: Wêr't presyzje en prestaasjes moetsje

Us isolatoaren binne fertroud yn:

•Ets- en ôfsettingsark:SiC-coated komponinten foar plasmaresistinsje yn Applied Materials™-modules.
•Ionenimplantaters:Alumina-liftpinnen mei antistatyske coatings om te foarkommen dat de wafer ferskoot.
•Metrologysystemen:Isolatoren mei lege termyske útwreiding foar EUV-litografystadia.

Gevalstúdzje:In liedende OEM foar healgeleiders fermindere de downtime fan ark mei 40% nei't se oerstapten op ús oanpast ûntworpen SiC-dûskoppen, dy't de ûnderdielen fan konkurrinten oertroffen yn waferferwurking fan 300 mm.

Fierder as produksje: In partnerskipsoanpak

•Snelle prototyping:Dien jo CAD-bestannen yn en ûntfange funksjonele prototypes binnen 7 dagen.
•Ferpakking foar skjinne keamers op lokaasje:Opsjonele klasse 10 skjinkeamerassemblage foar direkte arkyntegraasje.
•Lifetime Technyske Stipe:Us yngenieurs leverje slijtageanalyses en opnij bewurkjen fan tsjinsten om de libbensduur fan komponinten te ferlingjen.